『반도체란 무엇인가』는 반도체에 관한 제조기술은 물론 반도체가 발명된 이후 지금까지 어떠한 길을 걸어왔고 각종 산업에 어떠한 혁신(breakthrough)을 가져다주었는지 알기 쉽게 설명하는 것을 목표로 했다.
반도체는 인류사상 최대의 변혁을 가져다주고 있다고 해도 과언이 아니다. 우리 주위에 등장하고 있는 첨단기기 및 첨단설비를 지탱하고 있는 것은 전자기술이라는 ‘새로운 수단’이며 이를 실현화시켜 주고 있는 ‘새로운 디바이스’가 바로 ‘반도체’이다. 또한, 인터넷을 매체로 한 고도 정보화 사회 역시 반도체에 의해 이루어지고 있다고 할 수 있다.
반도체(정확한 표현으로는 ‘반도체 소자’)가 등장하면서 우리 생활은 크게 변모했다. PC, 복합기능프린터, 휴대폰, 평면 TV, 다기능/다채널 오디오, 인터넷 등 새로운 제품 또는 기능을 일신한 제품이 생활에 깊숙이 침투하는 한편 세탁기, 전기밥솥, 냉장고 등도 그 기능과 편리성이 크게 향상돼 종전의 모습과는 전혀 다른 제품이 됐다.
그뿐 아니라 자동차, 전철, 여객기 등도 에너지 소모가 감소함과 동시에 기능, 편리성 및 안전성 등이 하루가 다르게 향상하고 있다. 특히 방위산업 분야에서는 미사일, 레이더, 잠수함, 항공모함, 구축함, 전투기, 폭격기, 인공위성 등의 기능과 정밀성은 우리의 상상을 초월할 정도로 변모하고 있다.
- 머리말 중에서 -
머리말
Ⅰ 서론
1. 반도체의 정체
2. 불순물에 따라 변하는 반도체
3. 반도체 소자의 기본
Ⅱ 반도체 소자가 등장한 배경
1. 반도체 물질의 결정 이론
2. Transistor가 등장한 배경
3. Transistor의 개발
4. Planar process와 집적회로의 등장
5. IC 속에는 무엇이 들어가 있는가
Ⅲ 반도체의 경제성
1. Wafer의 대형화
2. 선폭의 축소와 집적도의 증가
3. Yield의 향상
4. Learning curve
Ⅳ 반도체 제조공정
1. Si 원료 제조공정
① 금속규소
② 다결정 Si
③ 단결정 Si
④ Wafer
2. Wafer fabrication
① 회로설계
② Photomask 제작
③ 박막형성
④ Photoresist 도포
⑤ 노광, pattern 형성
⑥ 현상, etching
⑦ 확산, 이온주입
⑧ 평탄화
⑨ 배선, 전극형성
⑩ 검사
Ⅴ 반도체 조립
① Wafer scribing
② Chip mounting
③ Wire bonding
④ Packaging/sealing
⑤ Marking
Ⅵ 반도체의 구조와 역할
1. Transistor
2. Diode
3. 반도체의 memory
Ⅶ 특수한 용도의 반도체
1. Si를 사용한 특수 반도체
2. 화합물 반도체
3. 특수 반도체
용어의 정의
유영준 [저]
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