|
- Á¦ÈÞ¸ô ÁÖ¹® ½Ã °í°´º¸»ó, ÀϺΠÀ̺¥Æ® Âü¿© ¹× ÁõÁ¤Ç° ÁõÁ¤, ÇÏ·ç/´çÀÏ ¹è¼Û¿¡¼ Á¦¿ÜµÇ¹Ç·Î Âü°í ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
-
-
-
¿©·¯ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ ±¹Á¦ °æÀï·ÂÀ» ÀҾ°í ÀÖ´Â ¿ì¸®³ª¶ó¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº À¯ÀÏÇÏ°Ô ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±â¼úÀû ¿ìÀ§¿Í ½ÃÀå Á¡À¯À²À» °¡Áö°í ÀÖ´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ƯÈ÷, 4Â÷»ê¾÷Çõ¸íÀÇ µµ·¡¿¡ µû¶ó »ý°Ü³ª´Â ¶Ç ¾ÕÀ¸·Î »ý°Ü³¯ ¿©·¯ °¡Áö »õ·Î¿î »ê¾÷µéÀº ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÇʼöÀûÀ¸·Î ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. õ¿¬ÀÚ¿øÀÌ ºÎÁ·ÇÏ°í ¡°»ç¶÷¡±À̶ó´Â ÀÚ¿ø ¹Û¿¡ ¾ø´Â ¿ì¸®³ª¶ó´Â ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú, »ç°í, ¹®È, °ü½ÀÀÇ º¯È¿¡ ¼öµ¿ÀûÀ¸·Î ²ø·Á°¡±â º¸´Ù´Â À̸¦ ¸®µåÇØ ³ª°¡¾ß ÇÒ °ÍÀ̸ç, ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶óÀÇ °æÁ¦¸¦ ¶°¹ÞÄ¡°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ Á¶±ÝÀÌ¶óµµ ´õ ¿À·¡ ¼¼°è¿¡¼ ¼±µµÀûÀÎ À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇÏ°Ô Çϱâ À§Çؼ´Â ¹«¾ùº¸´Ù ÀηÂÀÇ °³¹ß°ú ±³À°ÀÌ ÃÖ¿ì¼±ÀÌ µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. º» µµ¼´Â ±×·¯ÇÑ ¿ø´ëÇÑ ¸ñÇ¥¸¦ °¡Áö°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ 8´ë °øÁ¤ ÇϳªÇϳªÀÇ ¹è°æ°ú ±× ¿ø¸®¿¡ ´ëÇØ ±âÃÊÀûÀÎ ÈÇаú ¹°¸®Àû Áö½ÄÀÌ ÀÖÀ¸¸é À̸¦ ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. 1ÀåºÎÅÍ 8Àå¿¡¼´Â ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤ Çü¼º, Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ, ¿¡Äª, CMP, »êÈ, È®»ê, ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ, ¹Ú¸· ÁõÂø µîÀÇ °øÁ¤À» ´Ù·ç°í ÀÖÀ¸¸ç 9Àå¿¡¼´Â ¿©·¯ Çö»óÀÇ °æÀï°úÁ¤ ¾È¿¡¼ °áÁ¤µÇ´Â ¼ö¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤µéÀÇ °á°ú¸¦ Á¤¸®ÇÑ´Ù. º» µµ¼´Â ´ëÇÐ ¶Ç´Â ´ëÇпø¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ ±³°ú¿ëÀ¸·Îµµ ÇлýµéÀÇ ±³À°À» À§ÇØ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ ÇÑÆíÀ¸·Î´Â ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç ¹× °ü·ÃµÈ ¾÷°è¿¡ ÃëÁ÷À» ÁغñÇÏ´Â À̵鿡°Ô ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØÀÇ ÆøÀ» ³ÐÇô ÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ¹Ï´Â´Ù.
-
-
Á¦1Àå ¹ÝµµÃ¼
1. ¹ÝµµÃ¼(Semiconductor)¶õ?
1.1 ¿¡³ÊÁö ¹êµå
1.2 ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤
1.3 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
1.4 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ °úÁ¤ÀÇ º¯Ãµ
1.5 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ ´ÜÀ§°øÁ¤
Á¦2Àå Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ
2. Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(Photolithography)
2.1 °³¿ä
2.2 Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®
2.3 Æ÷Å丶½ºÅ©¿Í ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛ
2.4 ±¤¿ø
2.5 ±âŸ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú
2.6 Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤»ó ¹®Á¦Á¡
Á¦3Àå ¿¡Äª
3. ¿¡Äª(Etching)
3.1 °³¿ä
3.2 ½À½Ä ¿¡Äª
3.3 °Ç½Ä ¿¡Äª
3.4 ½À½Ä¿¡Äª°ú °Ç½Ä¿¡ÄªÀÇ ºñ±³
3.5 °íüÀÇ °áÁ¤ ¸é°ú ¿¡ÄªÀÇ ¹æÇ⼺
Á¦4Àå CMP
4. CMP(Chemical Mechanical Polishing)
4.1 °³¿ä
4.2 CMP ½½·¯¸®(slurry)¿Í ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁò
4.3 ¿¬¸¶ Æеå(polishing pad)
4.4 CMP °øÁ¤ÀÇ À̽´
4.5 CMP°¡ Àû¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦5Àå »êÈ
5. »êÈ(Oxidation)
5.1 °³¿ä
5.2 SiÀÇ »êȹÝÀÀ
5.3 SiÀÇ »êÈ¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¿äÀÎ
Á¦6Àå È®»ê
6. È®»ê(Diffusion)
6.1 È®»ê °øÁ¤ ¹× ¹ÝÀÀ
6.2 FickÀÇ ¹ýÄ¢°ú È®»ê°è¼ö
6.3 È®»êÀÇ ¿¹
6.4 Á¢ÇÕ(Junction)
6.5 Àü±âÀû ¼ºÁú
Á¦7Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ
7. ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation)
7.1 ...ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤¿¡ µû¸¥ ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ
7.2 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÈÄÀÇ µµÆÝÆ® ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ º¯È
7.3 °íÁýÀûȸ¦ À§ÇÑ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤
7.4 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦8Àå ¹Ú¸· ÁõÂø
8. ¹Ú¸· ÁõÂø(Thin Film Deposition)
8.1 ±âü Ãæµ¹ ÀÌ·Ð
8.2 ¹°¸®Àû ±â»ó ÁõÂø(Physical vapor deposition)
8.3 ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(Chemical vapor deposition)
Á¦9Àå ¸ÎÀ½¸»
-
-
|
ÀÓ»ó¿ì [Àú]
|
|
-
-
-
Àüü 0°³ÀÇ ±¸¸ÅÈıⰡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù. |
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´É
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ù À̳», ȤÀº ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏ À̳»
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´É |
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
±¸¸ÅÈ®Á¤ ÀÌÈÄ(¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ÇÑÇÔ)
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì
(´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü)
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì |
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
Áß°í»óÇ°ÀÇ ±³È¯ |
Áß°í»óÇ°Àº Á¦ÇÑµÈ Àç°í ³»¿¡¼ ÆǸŰ¡ ÀÌ·ç¾îÁö¹Ç·Î, ±³È¯Àº ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°ÀÇ È¯ºÒ |
¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ´ëÇÑ Ã¥ÀÓÀº ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î ¾÷ü¿¡°Ô ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ±³È¯/¹ÝÇ° Á¢¼ö½Ã ¹Ýµå½Ã ÆǸÅÀÚ¿Í ÇùÀÇ ÈÄ ¹ÝÇ° Á¢¼ö¸¦ ÇϼžßÇϸç, ¹ÝÇ°Á¢¼ö ¾øÀÌ ¹Ý¼ÛÇϰųª, ¿ìÆíÀ¸·Î º¸³¾ °æ¿ì »óÇ° È®ÀÎÀÌ ¾î·Á¿ö ȯºÒÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸´Ï À¯ÀÇÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
¹è¼Û¿¹Á¤ÀÏ ¾È³» |
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°¿¡ ´ëÇØ ¹è¼Û¿Ï·á¿¹Á¤ÀÏÀ» À¥»çÀÌÆ®¿¡ Ç¥½ÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
<ÀÎÅÍÆÄÅ© Á÷¹è¼Û »óÇ°> |
»óÇ°Àº ¿ù~Åä¿äÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã ÀÌÀü ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ´çÀÏ Ãâ°í/´çÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù. |
»óÇ°Àº ¼¿ïÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀº ´çÀÏ Ãâ°í/ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇϸç,
¼¿ï¿ÜÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀÇ °æ¿ì´Â ¿ÀÈÄ 6½Ã±îÁö ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù.
(´Ü, ¿ù¿äÀÏÀº 12½Ã±îÁö ÁÖ¹®¿¡ ÇÑÇÔ)
|
»óÇ°Àº, ÀÔ°í¿¹Á¤ÀÏ(Á¦Ç°Ãâ½ÃÀÏ)+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù. |
~
»óÇ°Àº À¯ÅëƯ¼º»ó ÀÎÅÍÆÄÅ©¿¡¼ Àç°í¸¦ º¸À¯ÇÏÁö ¾ÊÀº »óÇ°À¸·Î ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø±âÁØÃâ°íÀÏ:ÀÎÅÍÆÄÅ©°¡ »óÇ°À» ¼ö±ÞÇÏ¿© ¹°·ùâ°í¿¡¼ Æ÷Àå/Ãâ°íÇϱâ±îÁö ¼Ò¿äµÇ´Â ½Ã°£
|
|
<¾÷ü Á÷Á¢¹è¼Û/¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°> |
~
»óÇ°Àº ¾÷ü°¡ ÁÖ¹®À» È®ÀÎÇÏ°í, Ãâ°íÇϱâ±îÁö °É¸®´Â ½Ã°£ÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(2ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø5ÀÏÀ̳» Ãâ°í°¡ ½ÃÀÛµÇÁö ¾ÊÀ»½Ã, ¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°Àº ÀÚµ¿À¸·Î ÁÖ¹®ÀÌ Ãë¼ÒµÇ¸ç, °í°´´Ô²² Ç°Àýº¸»ó±ÝÀ» Áö±ÞÇØ µå¸³´Ï´Ù.
|
|
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
µµ¼(Áß°íµµ¼ Æ÷ÇÔ)¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û) À½¹Ý/DVD¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
ÀâÁö/¸¸È/±âÇÁÆ®¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼¿Í À½¹Ý/DVD¸¦ ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø 1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼¿Í ÀâÁö/¸¸È/±âÇÁÆ®/Áß°íÁ÷¹è¼Û»óÇ°À» ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
¾÷üÁ÷Á¢¹è¼Û»óÇ°À» ±¸¸Å½Ã : ¾÷üº°·Î »óÀÌÇÑ ¹è¼Ûºñ Àû¿ë
* ¼¼Æ®»óÇ°ÀÇ °æ¿ì ºÎºÐÃë¼Ò ½Ã Ãß°¡ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
* ºÏÄ«Æ®¿¡¼ ¹è¼Ûºñ¾ø¾Ö±â ¹öÆ°À» Ŭ¸¯Çϼż, µ¿ÀϾ÷ü»óÇ°À» Á¶±Ý ´õ ±¸¸ÅÇϽøé, ¹è¼Ûºñ¸¦ Àý¾àÇÏ½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
Çؿܹè¼Û ¾È³» |
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼¿¡¼´Â ±¹³»¿¡¼ ÁÖ¹®ÇϽðųª ÇØ¿Ü¿¡¼ ÁÖ¹®ÇÏ¿© ÇØ¿Ü·Î ¹è¼ÛÀ» ¿øÇÏ½Ç °æ¿ì DHL°ú Ư¾àÀ¸·Î Ã¥Á¤µÈ ¿ä±ÝÇ¥¿¡
ÀÇÇØ °³ÀÎÀÌ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °æ¿ìº¸´Ù ¹è¼Û¿ä±ÝÀ» Å©°Ô ³·Ã߸ç DHL(www.dhl.co.kr)·Î Çؿܹè¼Û ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Çؿܹè¼ÛÀº µµ¼/CD/DVD »óÇ°¿¡ ÇÑÇØ ¼ºñ½ºÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ »óÇ°À» ºÏÄ«Æ®¿¡ ÇÔ²² ´ãÀ¸½Ç °æ¿ì Çؿܹè¼ÛÀÌ ºÒ°¡ÇÕ´Ï´Ù.
ÇØ¿ÜÁÖ¹®¹è¼Û ¼ºñ½º´Â ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ȸ¿ø °¡ÀÔÀ» Çϼž߸¸ ½Åû °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä!!! |
µµ¸Å»ó ¹× Á¦ÀÛ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿ÀǸ¶ÄϾ÷üÀÇ ¹è¼ÛÁö¿¬½Ã ÁÖ¹®ÀÌ ÀÚµ¿À¸·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ ¼·Î ´Ù¸¥ »óÇ°À» ÇÔ²² ÁÖ¹®ÇÒ °æ¿ì Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ °¡Àå ±ä ±âÁØÀ¸·Î ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
À¯ÅëÀÇ Æ¯¼º»ó Ãâ°í±â°£Àº ¿¹Á¤º¸´Ù ¾Õ´ç°ÜÁö°Å³ª ´ÊÃçÁú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù. |
|
|
|
|