>
>
>
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ ÀÌÇØ 
ÀÓ»ó¿ì ¤Ó û¼Û
  • Á¤°¡
15,000¿ø
  • ÆǸŰ¡
15,000¿ø (0% ¡é, 0¿ø ¡é)
  • ¹ßÇàÀÏ
2018³â 11¿ù 20ÀÏ
  • ÆäÀÌÁö¼ö/Å©±â/¹«°Ô
187page/189*258*15/513g
  • ISBN
9791189042028/1189042029
  • ¹è¼Ûºñ
¹«·á¹è¼Û
  • ¹è¼Û¿¹Á¤ÀÏ
04/02(È­) ¹è¼Û¿Ï·á¿¹Á¤
  • Çö º¸À¯Àç°í
100 ±Ç ÀÌ»ó
  • ÁÖ¹®¼ö·®
±Ç
  • ¹Ù·Î±¸¸Å ºÏÄ«Æ®´ã±â
  • Á¦ÈÞ¸ô ÁÖ¹® ½Ã °í°´º¸»ó, ÀϺΠÀ̺¥Æ® Âü¿© ¹× ÁõÁ¤Ç° ÁõÁ¤, ÇÏ·ç/´çÀÏ ¹è¼Û¿¡¼­ Á¦¿ÜµÇ¹Ç·Î Âü°í ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
  • »ó¼¼Á¤º¸
  • ¿©·¯ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼­ ±¹Á¦ °æÀï·ÂÀ» ÀҾ°í ÀÖ´Â ¿ì¸®³ª¶ó¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº À¯ÀÏÇÏ°Ô ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±â¼úÀû ¿ìÀ§¿Í ½ÃÀå Á¡À¯À²À» °¡Áö°í ÀÖ´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ƯÈ÷, 4Â÷»ê¾÷Çõ¸íÀÇ µµ·¡¿¡ µû¶ó »ý°Ü³ª´Â ¶Ç ¾ÕÀ¸·Î »ý°Ü³¯ ¿©·¯ °¡Áö »õ·Î¿î »ê¾÷µéÀº ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÇʼöÀûÀ¸·Î ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. õ¿¬ÀÚ¿øÀÌ ºÎÁ·ÇÏ°í ¡°»ç¶÷¡±À̶ó´Â ÀÚ¿ø ¹Û¿¡ ¾ø´Â ¿ì¸®³ª¶ó´Â ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú, »ç°í, ¹®È­, °ü½ÀÀÇ º¯È­¿¡ ¼öµ¿ÀûÀ¸·Î ²ø·Á°¡±â º¸´Ù´Â À̸¦ ¸®µåÇØ ³ª°¡¾ß ÇÒ °ÍÀ̸ç, ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶óÀÇ °æÁ¦¸¦ ¶°¹ÞÄ¡°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ Á¶±ÝÀÌ¶óµµ ´õ ¿À·¡ ¼¼°è¿¡¼­ ¼±µµÀûÀÎ À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇÏ°Ô Çϱâ À§Çؼ­´Â ¹«¾ùº¸´Ù ÀηÂÀÇ °³¹ß°ú ±³À°ÀÌ ÃÖ¿ì¼±ÀÌ µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. º» µµ¼­´Â ±×·¯ÇÑ ¿ø´ëÇÑ ¸ñÇ¥¸¦ °¡Áö°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ 8´ë °øÁ¤ ÇϳªÇϳªÀÇ ¹è°æ°ú ±× ¿ø¸®¿¡ ´ëÇØ ±âÃÊÀûÀÎ È­Çаú ¹°¸®Àû Áö½ÄÀÌ ÀÖÀ¸¸é À̸¦ ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. 1ÀåºÎÅÍ 8Àå¿¡¼­´Â ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤ Çü¼º, Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ, ¿¡Äª, CMP, »êÈ­, È®»ê, ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ, ¹Ú¸· ÁõÂø µîÀÇ °øÁ¤À» ´Ù·ç°í ÀÖÀ¸¸ç 9Àå¿¡¼­´Â ¿©·¯ Çö»óÀÇ °æÀï°úÁ¤ ¾È¿¡¼­ °áÁ¤µÇ´Â ¼ö¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤µéÀÇ °á°ú¸¦ Á¤¸®ÇÑ´Ù. º» µµ¼­´Â ´ëÇÐ ¶Ç´Â ´ëÇпø¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ ±³°ú¿ëÀ¸·Îµµ ÇлýµéÀÇ ±³À°À» À§ÇØ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ ÇÑÆíÀ¸·Î´Â ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç ¹× °ü·ÃµÈ ¾÷°è¿¡ ÃëÁ÷À» ÁغñÇÏ´Â À̵鿡°Ô ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØÀÇ ÆøÀ» ³ÐÇô ÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ¹Ï´Â´Ù.
  • Á¦1Àå ¹ÝµµÃ¼ 1. ¹ÝµµÃ¼(Semiconductor)¶õ? 1.1 ¿¡³ÊÁö ¹êµå 1.2 ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤ 1.3 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ 1.4 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ °úÁ¤ÀÇ º¯Ãµ 1.5 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ ´ÜÀ§°øÁ¤ Á¦2Àå Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ 2. Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(Photolithography) 2.1 °³¿ä 2.2 Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® 2.3 Æ÷Å丶½ºÅ©¿Í ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛ 2.4 ±¤¿ø 2.5 ±âŸ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú 2.6 Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤»ó ¹®Á¦Á¡ Á¦3Àå ¿¡Äª 3. ¿¡Äª(Etching) 3.1 °³¿ä 3.2 ½À½Ä ¿¡Äª 3.3 °Ç½Ä ¿¡Äª 3.4 ½À½Ä¿¡Äª°ú °Ç½Ä¿¡ÄªÀÇ ºñ±³ 3.5 °íüÀÇ °áÁ¤ ¸é°ú ¿¡ÄªÀÇ ¹æÇ⼺ Á¦4Àå CMP 4. CMP(Chemical Mechanical Polishing) 4.1 °³¿ä 4.2 CMP ½½·¯¸®(slurry)¿Í ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁò 4.3 ¿¬¸¶ Æеå(polishing pad) 4.4 CMP °øÁ¤ÀÇ À̽´ 4.5 CMP°¡ Àû¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÇ ¿¹ Á¦5Àå »êÈ­ 5. »êÈ­(Oxidation) 5.1 °³¿ä 5.2 SiÀÇ »êÈ­¹ÝÀÀ 5.3 SiÀÇ »êÈ­¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¿äÀÎ Á¦6Àå È®»ê 6. È®»ê(Diffusion) 6.1 È®»ê °øÁ¤ ¹× ¹ÝÀÀ 6.2 FickÀÇ ¹ýÄ¢°ú È®»ê°è¼ö 6.3 È®»êÀÇ ¿¹ 6.4 Á¢ÇÕ(Junction) 6.5 Àü±âÀû ¼ºÁú Á¦7Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ 7. ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation) 7.1 ...
  • ÀÓ»ó¿ì [Àú]
  • Àüü 0°³ÀÇ ±¸¸ÅÈıⰡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼­´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼­ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´É
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ù À̳»,
   ȤÀº ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏ À̳»
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´É
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì
±¸¸ÅÈ®Á¤ ÀÌÈÄ(¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ÇÑÇÔ)
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì
   (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü)
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
Áß°í»óÇ°ÀÇ ±³È¯
Áß°í»óÇ°Àº Á¦ÇÑµÈ Àç°í ³»¿¡¼­ ÆǸŰ¡ ÀÌ·ç¾îÁö¹Ç·Î, ±³È¯Àº ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°ÀÇ È¯ºÒ
¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ´ëÇÑ Ã¥ÀÓÀº ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î ¾÷ü¿¡°Ô ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ±³È¯/¹ÝÇ° Á¢¼ö½Ã ¹Ýµå½Ã ÆǸÅÀÚ¿Í ÇùÀÇ ÈÄ ¹ÝÇ° Á¢¼ö¸¦ ÇϼžßÇϸç,
   ¹ÝÇ°Á¢¼ö ¾øÀÌ ¹Ý¼ÛÇϰųª, ¿ìÆíÀ¸·Î º¸³¾ °æ¿ì »óÇ° È®ÀÎÀÌ ¾î·Á¿ö ȯºÒÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸´Ï À¯ÀÇÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¹è¼Û¿¹Á¤ÀÏ ¾È³»
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼­´Â ¸ðµç »óÇ°¿¡ ´ëÇØ ¹è¼Û¿Ï·á¿¹Á¤ÀÏÀ» À¥»çÀÌÆ®¿¡ Ç¥½ÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
<ÀÎÅÍÆÄÅ© Á÷¹è¼Û »óÇ°>
»óÇ°Àº ¿ù~Åä¿äÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã ÀÌÀü ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ´çÀÏ Ãâ°í/´çÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù.
»óÇ°Àº ¼­¿ïÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀº ´çÀÏ Ãâ°í/ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇϸç,
¼­¿ï¿ÜÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀÇ °æ¿ì´Â ¿ÀÈÄ 6½Ã±îÁö ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù.
(´Ü, ¿ù¿äÀÏÀº 12½Ã±îÁö ÁÖ¹®¿¡ ÇÑÇÔ)
»óÇ°Àº, ÀÔ°í¿¹Á¤ÀÏ(Á¦Ç°Ãâ½ÃÀÏ)+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.
~ »óÇ°Àº À¯ÅëƯ¼º»ó ÀÎÅÍÆÄÅ©¿¡¼­ Àç°í¸¦ º¸À¯ÇÏÁö ¾ÊÀº »óÇ°À¸·Î
ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø±âÁØÃâ°íÀÏ:ÀÎÅÍÆÄÅ©°¡ »óÇ°À» ¼ö±ÞÇÏ¿© ¹°·ùâ°í¿¡¼­ Æ÷Àå/Ãâ°íÇϱâ±îÁö ¼Ò¿äµÇ´Â ½Ã°£
<¾÷ü Á÷Á¢¹è¼Û/¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°>
~ »óÇ°Àº ¾÷ü°¡ ÁÖ¹®À» È®ÀÎÇÏ°í, Ãâ°íÇϱâ±îÁö °É¸®´Â ½Ã°£ÀÔ´Ï´Ù.
ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(2ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø5ÀÏÀ̳» Ãâ°í°¡ ½ÃÀÛµÇÁö ¾ÊÀ»½Ã, ¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°Àº ÀÚµ¿À¸·Î ÁÖ¹®ÀÌ Ãë¼ÒµÇ¸ç, °í°´´Ô²² Ç°Àýº¸»ó±ÝÀ» Áö±ÞÇØ µå¸³´Ï´Ù.
¹è¼Ûºñ ¾È³»
µµ¼­(Áß°íµµ¼­ Æ÷ÇÔ)¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
À½¹Ý/DVD¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
ÀâÁö/¸¸È­/±âÇÁÆ®¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼­¿Í À½¹Ý/DVD¸¦ ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø 1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼­¿Í ÀâÁö/¸¸È­/±âÇÁÆ®/Áß°íÁ÷¹è¼Û»óÇ°À» ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
¾÷üÁ÷Á¢¹è¼Û»óÇ°À» ±¸¸Å½Ã : ¾÷üº°·Î »óÀÌÇÑ ¹è¼Ûºñ Àû¿ë

   * ¼¼Æ®»óÇ°ÀÇ °æ¿ì ºÎºÐÃë¼Ò ½Ã Ãß°¡ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
   * ºÏÄ«Æ®¿¡¼­ ¹è¼Ûºñ¾ø¾Ö±â ¹öÆ°À» Ŭ¸¯Çϼż­, µ¿ÀϾ÷ü»óÇ°À» Á¶±Ý ´õ ±¸¸ÅÇϽøé, ¹è¼Ûºñ¸¦ Àý¾àÇÏ½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Çؿܹè¼Û ¾È³»
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼­¿¡¼­´Â ±¹³»¿¡¼­ ÁÖ¹®ÇϽðųª ÇØ¿Ü¿¡¼­ ÁÖ¹®ÇÏ¿© ÇØ¿Ü·Î ¹è¼ÛÀ» ¿øÇÏ½Ç °æ¿ì DHL°ú Ư¾àÀ¸·Î Ã¥Á¤µÈ ¿ä±ÝÇ¥¿¡
   ÀÇÇØ °³ÀÎÀÌ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °æ¿ìº¸´Ù ¹è¼Û¿ä±ÝÀ» Å©°Ô ³·Ã߸ç DHL(www.dhl.co.kr)·Î Çؿܹè¼Û ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Çؿܹè¼ÛÀº µµ¼­/CD/DVD »óÇ°¿¡ ÇÑÇØ ¼­ºñ½ºÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ »óÇ°À» ºÏÄ«Æ®¿¡ ÇÔ²² ´ãÀ¸½Ç °æ¿ì Çؿܹè¼ÛÀÌ ºÒ°¡ÇÕ´Ï´Ù.
ÇØ¿ÜÁÖ¹®¹è¼Û ¼­ºñ½º´Â ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼­ ȸ¿ø °¡ÀÔÀ» Çϼž߸¸ ½Åû °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä!!!
µµ¸Å»ó ¹× Á¦ÀÛ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿ÀǸ¶ÄϾ÷üÀÇ ¹è¼ÛÁö¿¬½Ã ÁÖ¹®ÀÌ ÀÚµ¿À¸·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ ¼­·Î ´Ù¸¥ »óÇ°À» ÇÔ²² ÁÖ¹®ÇÒ °æ¿ì Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ °¡Àå ±ä ±âÁØÀ¸·Î ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
À¯ÅëÀÇ Æ¯¼º»ó Ãâ°í±â°£Àº ¿¹Á¤º¸´Ù ¾Õ´ç°ÜÁö°Å³ª ´ÊÃçÁú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼­¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼­, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
  • 0°³
  • 0°³