|
|
|
±¹³»¿Ü ÇöóÁ ±â¼ú»ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼(2024)
|
|
|
»ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼ ½Ã¸®Áî(ºñƼŸÀÓÁî)1
¤Ó ºñÇÇÁ¦À̱â¼ú°Å·¡
¤Ó
ºñƼŸÀÓÁî
|
|
|
|
- Á¦ÈÞ¸ô ÁÖ¹® ½Ã °í°´º¸»ó, ÀϺΠÀ̺¥Æ® Âü¿© ¹× ÁõÁ¤Ç° ÁõÁ¤, ÇÏ·ç/´çÀÏ ¹è¼Û¿¡¼ Á¦¿ÜµÇ¹Ç·Î Âü°í ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
-
-
-
´õ ÀÌ»ó ÂÉ°³ Áú¼ö ¾ø´Â »óŸ¦ ³ªÅ¸³»´Â »óÅÂÀÎ ¿øÀÚ »óÅÂ. ÇÏÁö¸¸ Çö´ë ±â¼úÀÌ ¹ß´ÞÇÏ¸é¼ ¿øÀÚ»óŸ¦ ´õ ÀÛ°Ô ºÐ¸®ÇÏ°Ô µÇ´Â ±â¼úÀÌ »ý°Ü³µ°í ¿øÀÚÀÇ »óŸ¦ ÂÉ°³¾î ³ª´©¾îÁø »óŸ¦ ÇöóÁ»óŶó°í ÇÑ´Ù. ÇöóÁ´Â Á¦ 4ÀÇ ¹°Áú »óŶó°í ¸»ÇÑ´Ù.
ÇöóÁ´Â ÃÖ±Ù ãæ »ê¾÷Çõ¸íÀ» ÁÖµµÇÒ °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¹°Áú·Î ±ÞºÎ»óÇϸé¼, ¹Ì·¡ ½ÃÀåÀ» À̲ø ºí·ç¿À¼ÇÀ¸·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¹Ì±¹, ÀϺ», µ¶ÀÏ µî ÁÖ¿ä ¼±Áø±¹¿¡¼´Â ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ ÇöóÁ ¿øõ ±â¼úÀ» ±¹°¡Àû Â÷¿ø¿¡¼ ÁýÁß °³¹ßÇÏ¿© ³ó¾÷, »ê¾÷, ȯ°æ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ È°¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿ì¸®³ª¶ó¿¡¼µµ ÇöóÁ ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸³ª, ¾ÆÁ÷Àº ¹Ì¾àÇÑ »óÅÂÀÌ´Ù. µû¶ó¼, ÇâÈÄ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ µµÅµÇÁö ¾Ê±â À§Çؼ´Â ±¹³» »êÇп¬°£ÀÇ ±â¼ú Çù·ÂÀ» ¹°·ÐÀÌ°í, ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß·Î ³ª´¶ ÇØ¿Ü ÇöóÁ °ü·Ã ±â¾÷ ¹× ±â°ü°úµµ °øµ¿ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ¿¡ º» 2024°³Á¤ÆÇ¿¡¼´Â ÇöóÁÀÇ °³³äºÎÅÍ, ±â¼ú¡¤½ÃÀ塤»ê¾÷ÇöȲ, °ü·Ã ¿¬±¸±â°ü ¹× ±â¾÷±îÁö ÇöóÁ »ê¾÷¿¡ °üÇÏ¿© ÃÑ ¸Á¶óÇÏ¿´´Ù.
-
-
Contents
I. ¼·Ð 1
II. ÇöóÁÀÇ °³¿ä 3
°¡. ÇöóÁ Á¤ÀÇ 3
³ª. ÇöóÁ Ư¼º°ú ÀåÁ¡ 5
1) Àü±âÀû Ư¼º 5
2) ÈÇÐÀû Ư¼º 5
3) ¹°¸®Àû Ư¼º 5
4) ÀÚ±âÀû Ư¼º 5
´Ù. ÇöóÁ º¸°ü 6
III. ÇöóÁ ±â¼ú °³¿ä 9
°¡. ÇöóÁ Á¾·ù 9
1) ¿ ÇöóÁ 9
2) Àú¿Â ÇöóÁ 10
³ª. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÇöóÁ 13
1) ÇöóÁ ¿¡½Ì(ashing) 13
2) ÇöóÁ CVD 13
3) PECVD SiN, SiO©ü ¹Ú¸· 15
IV. ÇöóÁ ½ÃÀå ÇöȲ 17
°¡. ±¹³» 17
³ª. ±¹¿Ü 21
V. ÇöóÁ ±â¼ú ÇöȲ 23
°¡. ÇöóÁ ±â¼úµ¿Çâ 23
1) ±¹³» 23
2) ±¹¿Ü 34
³ª. ÇöóÁ ÀÀ¿ë »ê¾÷ ÇöȲ 39
1) ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ 39
2) µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ 44
3) ÀÇ·á »ê¾÷ 44
4) ȯ°æ »ê¾÷ 46
5) ³ó½ÄÇ° »ê¾÷ 46
´Ù. ƯÇã ÇöȲ 48
1) ±¹³» 49
2) ±¹¿Ü 65
3) ƯÇãºÐÀï 81
VI. ÇöóÁ °ü·Ã ±â¾÷ ¹× ¿¬±¸±â°ü 84
°¡. ±¹³» 84
1) Çѱ¹ÇÙÀ¶ÇÕ¿¡³ÊÁö¿¬±¸¿ø(KFE) 85
2) ö¿ø ÇöóÁ »ê¾÷ ±â¼ú¿¬±¸¿ø 89
3) ¿¡ÀÌÇÇƼ¾¾ 91
4) ´ºÆÄ¿öÇöóÁ (NEW POWER PLASMA) 94
5) ÇÇ¿¡½º¿¥ (PSM) 97
6) ±âŸ 98
³ª. ±¹¿Ü 100
1) Plasma Ionic 101
2) relyon plasma 103
...3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 106
4) Nordson March 109
5) Plasmatreat 111
VII. °á·Ð 114
VIII. Âü°í¹®Çå 117
-
-
|
ºñÇÇÁ¦À̱â¼ú°Å·¡ [Àú]
|
|
-
ºñÇÇÁ¦À̱â¼ú°Å·¡´Â ½ÃÀåÁ¶»çÀü¹®±â°üÀ¸·Î ±¹³»¿Ü ½ÃÀ嵿Çâ »ê¾÷µ¿ÇâÀ» Á¶»çÇÏ´Â ±â°üÀÌ´Ù.
ºí·ÏüÀÎ °¡»óÈÆó »ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼
Á¶¼±»ê¾÷½ÃÀ嵿Ç⠺м®º¸°í¼
±¹³»¿Ü ÀÚÀ²ÁÖÇà»ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼
2020³â´ë¸¦ À̲ø Â÷¼¼´ë ±â¼úÇõ¸íÀÇ ¼±µÎÁÖÀÚ ¹«ÀÎÀ̵¿Ã¼ ºÐ¾ßº° ½ÃÀåÀü¸Á°ú »ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼
±¹³»¿Ü ÀΰøÁö´É»ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼
¼ºÀåÇϴ ä½ÄÁÖÀÇ°ü·Ã »ê¾÷ºÐ¼®º¸°í¼ µî
-
-
Àüü 0°³ÀÇ ±¸¸ÅÈıⰡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù. |
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´É
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ù À̳», ȤÀº ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏ À̳»
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´É |
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
±¸¸ÅÈ®Á¤ ÀÌÈÄ(¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ÇÑÇÔ)
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì
(´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü)
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì |
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
Áß°í»óÇ°ÀÇ ±³È¯ |
Áß°í»óÇ°Àº Á¦ÇÑµÈ Àç°í ³»¿¡¼ ÆǸŰ¡ ÀÌ·ç¾îÁö¹Ç·Î, ±³È¯Àº ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°ÀÇ È¯ºÒ |
¿ÀǸ¶ÄÏ»óÇ°¿¡ ´ëÇÑ Ã¥ÀÓÀº ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î ¾÷ü¿¡°Ô ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ±³È¯/¹ÝÇ° Á¢¼ö½Ã ¹Ýµå½Ã ÆǸÅÀÚ¿Í ÇùÀÇ ÈÄ ¹ÝÇ° Á¢¼ö¸¦ ÇϼžßÇϸç, ¹ÝÇ°Á¢¼ö ¾øÀÌ ¹Ý¼ÛÇϰųª, ¿ìÆíÀ¸·Î º¸³¾ °æ¿ì »óÇ° È®ÀÎÀÌ ¾î·Á¿ö ȯºÒÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸´Ï À¯ÀÇÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
¹è¼Û¿¹Á¤ÀÏ ¾È³» |
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°¿¡ ´ëÇØ ¹è¼Û¿Ï·á¿¹Á¤ÀÏÀ» À¥»çÀÌÆ®¿¡ Ç¥½ÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
<ÀÎÅÍÆÄÅ© Á÷¹è¼Û »óÇ°> |
»óÇ°Àº ¿ù~Åä¿äÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã ÀÌÀü ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ´çÀÏ Ãâ°í/´çÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù. |
»óÇ°Àº ¼¿ïÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀº ´çÀÏ Ãâ°í/ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇϸç,
¼¿ï¿ÜÁö¿ª/ÆòÀÏ ÁÖ¹®ºÐÀÇ °æ¿ì´Â ¿ÀÈÄ 6½Ã±îÁö ÁÖ¹®ºÐ¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀÍÀÏ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÏ´Â »óÇ°ÀÔ´Ï´Ù.
(´Ü, ¿ù¿äÀÏÀº 12½Ã±îÁö ÁÖ¹®¿¡ ÇÑÇÔ)
|
»óÇ°Àº, ÀÔ°í¿¹Á¤ÀÏ(Á¦Ç°Ãâ½ÃÀÏ)+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù. |
~
»óÇ°Àº À¯ÅëƯ¼º»ó ÀÎÅÍÆÄÅ©¿¡¼ Àç°í¸¦ º¸À¯ÇÏÁö ¾ÊÀº »óÇ°À¸·Î ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(1ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø±âÁØÃâ°íÀÏ:ÀÎÅÍÆÄÅ©°¡ »óÇ°À» ¼ö±ÞÇÏ¿© ¹°·ùâ°í¿¡¼ Æ÷Àå/Ãâ°íÇϱâ±îÁö ¼Ò¿äµÇ´Â ½Ã°£
|
|
<¾÷ü Á÷Á¢¹è¼Û/¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°> |
~
»óÇ°Àº ¾÷ü°¡ ÁÖ¹®À» È®ÀÎÇÏ°í, Ãâ°íÇϱâ±îÁö °É¸®´Â ½Ã°£ÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ¹®ÀÏ+±âÁØÃâ°íÀÏ+Åùè»ç¹è¼ÛÀÏ(2ÀÏ)¿¡ ¹è¼Û¿Ï·á¸¦ º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.(Åä/°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.)
¡Ø5ÀÏÀ̳» Ãâ°í°¡ ½ÃÀÛµÇÁö ¾ÊÀ»½Ã, ¿ÀǸ¶ÄÏ »óÇ°Àº ÀÚµ¿À¸·Î ÁÖ¹®ÀÌ Ãë¼ÒµÇ¸ç, °í°´´Ô²² Ç°Àýº¸»ó±ÝÀ» Áö±ÞÇØ µå¸³´Ï´Ù.
|
|
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
µµ¼(Áß°íµµ¼ Æ÷ÇÔ)¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û) À½¹Ý/DVD¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
ÀâÁö/¸¸È/±âÇÁÆ®¸¸ ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 2,000¿ø (2¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼¿Í À½¹Ý/DVD¸¦ ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : ¹è¼Ûºñ 1,500¿ø 1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
µµ¼¿Í ÀâÁö/¸¸È/±âÇÁÆ®/Áß°íÁ÷¹è¼Û»óÇ°À» ÇÔ²² ±¸¸ÅÇϽøé : 2,000¿ø (1¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å ½Ã ¹«·á¹è¼Û)
¾÷üÁ÷Á¢¹è¼Û»óÇ°À» ±¸¸Å½Ã : ¾÷üº°·Î »óÀÌÇÑ ¹è¼Ûºñ Àû¿ë
* ¼¼Æ®»óÇ°ÀÇ °æ¿ì ºÎºÐÃë¼Ò ½Ã Ãß°¡ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
* ºÏÄ«Æ®¿¡¼ ¹è¼Ûºñ¾ø¾Ö±â ¹öÆ°À» Ŭ¸¯Çϼż, µ¿ÀϾ÷ü»óÇ°À» Á¶±Ý ´õ ±¸¸ÅÇϽøé, ¹è¼Ûºñ¸¦ Àý¾àÇÏ½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
Çؿܹè¼Û ¾È³» |
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼¿¡¼´Â ±¹³»¿¡¼ ÁÖ¹®ÇϽðųª ÇØ¿Ü¿¡¼ ÁÖ¹®ÇÏ¿© ÇØ¿Ü·Î ¹è¼ÛÀ» ¿øÇÏ½Ç °æ¿ì DHL°ú Ư¾àÀ¸·Î Ã¥Á¤µÈ ¿ä±ÝÇ¥¿¡
ÀÇÇØ °³ÀÎÀÌ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °æ¿ìº¸´Ù ¹è¼Û¿ä±ÝÀ» Å©°Ô ³·Ã߸ç DHL(www.dhl.co.kr)·Î Çؿܹè¼Û ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Çؿܹè¼ÛÀº µµ¼/CD/DVD »óÇ°¿¡ ÇÑÇØ ¼ºñ½ºÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ »óÇ°À» ºÏÄ«Æ®¿¡ ÇÔ²² ´ãÀ¸½Ç °æ¿ì Çؿܹè¼ÛÀÌ ºÒ°¡ÇÕ´Ï´Ù.
ÇØ¿ÜÁÖ¹®¹è¼Û ¼ºñ½º´Â ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ȸ¿ø °¡ÀÔÀ» Çϼž߸¸ ½Åû °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä!!! |
µµ¸Å»ó ¹× Á¦ÀÛ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿ÀǸ¶ÄϾ÷üÀÇ ¹è¼ÛÁö¿¬½Ã ÁÖ¹®ÀÌ ÀÚµ¿À¸·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ ¼·Î ´Ù¸¥ »óÇ°À» ÇÔ²² ÁÖ¹®ÇÒ °æ¿ì Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ °¡Àå ±ä ±âÁØÀ¸·Î ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
À¯ÅëÀÇ Æ¯¼º»ó Ãâ°í±â°£Àº ¿¹Á¤º¸´Ù ¾Õ´ç°ÜÁö°Å³ª ´ÊÃçÁú ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù. |
|
|
|
|