더 이상 쪼개 질수 없는 상태를 나타내는 상태인 원자 상태. 하지만 현대 기술이 발달하면서 원자상태를 더 작게 분리하게 되는 기술이 생겨났고 원자의 상태를 쪼개어 나누어진 상태를 플라즈마상태라고 한다. 플라즈마는 제 4의 물질 상태라고 말한다.
플라즈마는 최근 新 산업혁명을 주도할 고부가가치 물질로 급부상하면서, 미래 시장을 이끌 블루오션으로 주목받고 있다.
미국, 일본, 독일 등 주요 선진국에서는 오래 전부터 플라즈마 원천 기술을 국가적 차원에서 집중 개발하여 농업, 산업, 환경 등 다양한 분야에 활용하고 있다.
우리나라에서도 플라즈마 기술을 연구하고 있으나, 아직은 미약한 상태이다. 따라서, 향후 글로벌 시장에서 도태되지 않기 위해서는 국내 산학연간의 기술 협력을 물론이고, 다양한 분야로 나뉜 해외 플라즈마 관련 기업 및 기관과도 공동 연구를 진행해야 할 것이다.
이에 본 2023개정판에서는 플라즈마의 개념부터, 기술·시장·산업현황, 관련 연구기관 및 기업까지 플라즈마 산업에 관하여 총 망라하였다.
I. 서론 1
II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6
III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15
IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 20
V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 30
나. 플라즈마 응용 산업 현황 35
1) 반도체 산업 35
2) 디스플레이 산업 39
3) 환경 산업 39
다. 특허 현황 41
1) 국내 42
2) 국외 55
3) 특허분쟁 68
VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 71
가. 국내 71
1) 국가핵융합연구소 (NFRI) 72
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 75
3) 에이피티씨 77
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 80
5) 피에스엠 (PSM) 83
6) 기타 84
나. 국외 85
1) Plasma Ionic 86
2) relyon plasma 88
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 91
4) Nordson March 94
5) Plasmatreat 96
VII. 결론 99
VIII. 참고문헌 102
비피기술거래 [저]
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