반도체장비에 관한
가장 기본적인 매뉴얼
반도체는 다양한 산업 분야에서 폭넓게 쓰이고 있으며 대한민국 최대 수출품목으로 한국 경제와 산업을 선도하고 있다. 한국 경제를 이끄는 반도체 생산에 사용되는 각종 공정장비들과 반도체 생산기술은 극도의 보안이 유지되어 교육하는 것이 힘들다. 그러나 이 책에서는 보안이 필요한 부분은 변형해 반도체장비에 관해 학습하는 과정에 아무런 문제가 되지 않도록 기술되었다. 저자는 삼성전자 설비기술연구소, AP시스템, 삼성전기, 케이씨텍 등 반도체장비 생산기업에 설계 관련 애로기술자문을 수행해 왔다. 저자의 경험을 바탕으로 반도체장비에 관해 상세하게 쓰인 이 책은 대한민국 반도체 산업의 미래를 열 수 있도록 최고급 엔지니어들의 혁신적인 역량을 높일 수 있는 적합한 교재로 활용될 수 있을 것이다.
이 책은 13장으로 구성되어 있다. 1장에서는 반도체공장의 개요를 설명한다. 2장에서는 웨이퍼 제조와 CMP를, 3장에서는 굴절식 포토마스크를, 5장에서는 반사식 포토마스크를 상세하게 설명한다. 6장에서는 극자외선 노광장비를, 7장에서는 포토공정과 장비를, 8장에서는 식각공정과 장비를, 9장에서는 웨이퍼 세정을 살펴본다. 10장에서는 적층공정을, 11장에서는 웨이퍼레벨 패키지를, 12장에서는 팹(FAB) 물류를, 13장에서는 팹(FAB) 인프라를 다룬다. 아울러 약어들은 책 뒷부분에 표로 정리해놓았다. 이 책은 다년간 자문활동을 한 저자가 반도체장비에 관한 다양한 경험을 풀어내어 반도체장비에 관해 이해할 수 있는 소중한 기회를 제공해 줄 것이다.
강원대학교 메카트로닉스공학전공의 교수로, 학부에서 전기전자회로실험, 적응형 요소, 반도체장비의 이해, 고성능 메카트로닉스설계 등을 강의하며, 대학원에서는 정밀기계설계와 스마트 메카트로닉스를 가르치고 있다. 그는 「전기전자 회로실험」, 「표준 기계설계학」, 「정밀기계설계」를 저술하였으며, 「고성능 메카트로닉스의 설계」, 「광학기구 설계」, 「CMP 웨이퍼 연마」 등 다수의 서적들을 번역하였다.
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